早在60年代初，美国、前苏联和日本就开始发展超临界大型机组了。超临界压力机组早期发展的蒸汽参数就定在压力25MPa,蒸汽温度560℃左右。由于压力温度的提高，主要耐热材料提高了级别，系统辅机阀门全部更新，直流锅炉的采用加上系统的复杂化，致使早期的超临界压力机组故障率很高，使其放慢发展速度。
80年代以后，随着金属材料的进展，辅机及系统方面的成熟，超临界技术迅速发展。据不完全统计，美国有169台超临界机组，前苏联224台，日本94台，德国10余台，意大利13台，南非、澳大利亚均有超临界机组。单机最大容量已达1200-1300MW。
我国自80年代引进超临界压力机组，在上海石洞口第二发电厂于1992年投入运行以来，克服了许多技术上的难关，机组达到设计指标，经济效益良好。
