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超精密形状与尺寸测量仪器校准系统技术指标

2022/07/1694 作者:佚名
导读:技术指标: 径向误差:0.03μm 轴向误差:0.03μm 直线度:0.08μm/100mm 功能:圆度、圆柱度测量 回转误差小于等于0.015UM。

技术指标: 径向误差:0.03μm 轴向误差:0.03μm 直线度:0.08μm/100mm 功能:圆度、圆柱度测量 回转误差小于等于0.015UM。

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