当前齿轮测量仪器的测量精度不足以满足1级(GB/T10095.1-2001)精度齿轮的测量。大连理工大学在国家自然科学基金的支持下已对1级精度渐开线圆柱齿轮齿形的测量开展了研究工作，解决了1级精度渐开线齿形测量的难题。本项申请针对超精密齿轮齿距偏差的测量理论与技术开展研究，搭建能够测量1级精度渐开线圆柱齿轮齿距偏差的测量装置。采用程控多齿分度台作为自动分度基准，通过研究多齿分度台啮合牙齿在分度过程的动力响应，及其对动态分度精度的影响，分析提高多齿分度台动态分度精度的方法。综合考虑齿形偏差、齿向偏差等因素，分析测头定位误差对超精密齿轮齿距偏差测量的影响，研究测头自动精确定位技术。研究被测齿轮与多齿分度台啮合中心同轴的精密调整方法，及其它组件的精密装配方法。分析测量装置中所有测量误差源，并对主要测量误差进行补偿，最终使该测量装置达到1级精度齿轮齿距偏差的测量要求。
