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电子束蒸发源:8kW,2MHz 晶圆尺寸:最大6英寸 真空度:10E-7Torr 蒸发物料:Ti、Au等 典型沉积速率:0.1-10A/s 样品台最大倾斜角:±45° 样品台工作距离:40-60cm。