| 型号 |
VMA2515 |
VMA3020 |
VMA4030 |
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| 行程(mm) |
250×150×150 |
300×200×200 |
400×300×200 |
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| 外部尺寸(mm) |
600×650×800 |
700×850×950 |
800×700×950 |
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| 重量(kg) |
170 |
270 |
300 |
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| 承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
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| 测量精度* |
E2(X/Y)=（3.0 L/200）μm |
E2(X/Y)=（3.0 L/200）μm |
E2(X/Y)=（3.5 L/200）μm |
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| 光栅尺 |
1.0µm分辨率 |
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| CCD |
1/2"CCD 黑白/彩色 |
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| 光源 |
轮廓光 |
LED冷光源，256级亮度可调 |
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| 表面光 |
LED冷光源，256级亮度可调 |
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| 同轴光 |
可选配，参数同轮廓光 |
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| 放大倍率** |
29～163或58～326 |
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| 软件 |
Vispec测量软件(VMA版） |
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| 保修期 |
1年 |
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| 工作环境 |
温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% |
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| 振动<0.002g，低于15Hz |
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| 电源 |
220V/50Hz/10A |
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