消除系统油蒸气返流的具体措施：
(1)加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。
(2)通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区(切换过渡区)。例如，可使一个按照预定速度开启的高真空阀，逐渐地开启它，保证进入扩散泵的气体流量低于它的最大排气量，并且又使机械泵抽速保证扩散泵前级压力，以使扩散泵能树立工作。这样就能避开过渡区的出现。
(3)改善操作工艺，将扩散泵的加热功率调至最佳功率，避免出现泵油爆沸现象;一般扩散泵在加热开始和关闭过程中，返流将出现峰值，所以可用泵口处的高真空阀门来控制避免返流。
(4)在扩散泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。
(5)选用优质的扩散泵工作液。
