国家药品监督管理局1999年8月1日发布实施

■基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表

个/M3≥ 0.5um

ISO14644-1(1999)

US 209E (1992)

US 209D (1988)

EEC GGMP (1989)

FRANCE AFNOR(1981)

GERMANY VDI 2083(1990)

JAPAN JAOA(1989)

1

-

-

-

-

-

-

-

3.5

2

-

-

-

-

0

2

10

-

M1

-

-

-

-

-

35.3

3

M1.5

1

-

-

1

3

100

-

M2

-

-

-

-

-

353

4

M2.5

10

-

-

2

4

1,000

-

M3

-

-

-

-

-

3,530

5

M3.5

100

A B

4,000

3

5

10,000

-

M4

-

-

-

-

-

35,300

6

M4.5

1,000

1,000

-

4

6

100,000

-

M5

-

-

-

-

-

353,000

7

M5.5

10,000

C

400,000

5

7

1,000,000

-

M6

-

-

-

-

-

3,530,000

8

M6.5

100,000

D

4,000,000

6

8

10,000,000

-

M7

-

-

-

-

-

■基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表

空气洁净度等级(N)

大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4

10000

2370

1020

352

83

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

352000

83200

2930

8

3520000

832000

29300

9

35200000

8320000

293000