这也是用得较多的一种，激光扫描测径仪利用旋转的八面镜将射来的激光扫描成光带，再由被测物在光带上形成阴影宽度，其投影宽度可以通过光电二级管接收并转换为数字信号测量得来。其主要适合大直径测量，据有精度高，测量速度快等特点。激光扫描测径仪精度最高可达0.5um，小直径测量由于其光斑本身比被测物大，且产生干涉衍射现象，不容易较好的测量。
激光扫描测径仪的构成是由激光二极管发出的光，经过八面镜的扫描形成平行光带通过F(θ)镜形成侧量区域，然后被测物在光带中形成的阴影在信号处理器9计算出它的大小。
由于电机速度毕竟有限，而且扫描的平行光带不太容易保证，再加上平行光管与CCD的技术的发展，很多企业开始采用CCD成像法测量直径，其光源采用波长较长的红外光，抗干扰较强，由于少了许多机械件，所以设备较稳定可靠，但CCD成像受相素的制约，在精度上不太容易拓展，特别是大直径的物体测量，但又不能太细，太细会有扫描测径仪相同的问题。
利用衍射原理测量细线的直径，此技术与前两项刚好相反，只适用于测小直径的细丝，而且越细越好，因为此技术是利用衍射原理，理论只有当波长与被测物相近或大于被测长物时衍射最明显。测量5um到300um的细丝是没问题的，据说可以测量到500um。其精度由于限于标准样件和测试环境的影响，只有0.2um左右，但其重复性精度相当高，所以只要有标准样件和良好的测试环境，精度是可以再次大提高的，这也是细丝测径仪的一个发展方向。2100433B
