液封覆盖直拉法简介
2022/07/16230
作者:佚名
导读:中文名称 液封覆盖直拉法 英文名称 liquid encapsulated Czochralski method 定 义 熔体表面有一层覆盖剂,晶体是从被覆盖剂包裹的熔体中拉制出来。主要用于制备具有挥发性组分的化合物半导体单晶的方法。 应用学科 材料科学技术(一级学科),半导体材料(二级学科),半导体材料制备(三级学科)
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中文名称
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液封覆盖直拉法
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英文名称
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liquid encapsulated Czochralski method
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定 义
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熔体表面有一层覆盖剂,晶体是从被覆盖剂包裹的熔体中拉制出来。主要用于制备具有挥发性组分的化合物半导体单晶的方法。
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应用学科
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材料科学技术(一级学科),半导体材料(二级学科),半导体材料制备(三级学科)
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