真空淬火炉是真空热处理炉的主要类型，品种多、数量大、结构复杂、发展迅速。

各种类型的气淬真空炉的结构。立式和卧式单室气淬真空炉，单室炉加热和冷却在同一炉室中进行，结构简单，操作维修方便，占地面积小，应用一较多，立式和卧式双室气淬真空炉。这种炉子加热室与冷却室由真空闸阀隔开，工件在冷却室进行冷却时，加热室不受影响，因此，工件冷却速度较单室真空气淬炉快，由于双室炉冷却气体只充入冷却室，加热室保持真空，因而缩短工件时间（抽真空，加热等），生产效率较单室真空炉提高25%～30%左右，三室半连续式气淬真空炉，由进料室、加热室和冷却室组成，相邻两室间由真空闸阀隔开，连续式真空热处理炉生产效率高，节约能源，降低成本，适于连线生产和大生产运行，是今后真空热处理炉的发展方向。

随着工业技术的进步和产品加工质量与技术要求的提高，真空热处理加工钢种、合金范围的扩大，近十余年来，高压气淬真空炉，高流率真空炉和高（负）压高流率真空炉得到迅速发展，其特点是通常冷却气体压强为0.1～0.5MPa，有的高达2MPa甚至4MPa的高压气淬真空炉已投入运行，工件在高速气流下进行冷却。