作为一种过渡金属氮化物薄膜，CrAlN薄膜具有高硬度、良好的耐磨性和抗氧化性，因此被人们广泛的应用于工业生产中，能够有效提高切削工具、模具和耐磨零部件等的表面硬度、复合韧性、抗高温性及耐磨性，从而大幅度地提高了薄膜产品的性能和使用寿命。CrAlN薄膜因具有优异的抗磨粒磨损性能和抗高温氧化性，已成为PVD三元氮化物薄膜中的典型代表。 项目负责人在北京市自然科学基金青年项目（3164049）的资助下，系统研究了磁控溅射和多弧离子镀制备的CrAlN薄膜的组织结构、力学性能随温度的变化规律，及其对高温摩擦学行为和磨损机制的影响机制。本项目对磁控溅射CrAlN薄膜的参数对其微观组织结构的影响机制进行了深刻揭示，得到性能优异的CrAlN薄膜。通过对比不同温度下（20℃、400℃、600℃和800℃）薄膜的形貌特征、化学成分和相结构的变化规律。揭示了温度对薄膜化学成分和组织结构的影响机制。基于纳米压痕技术，分析薄膜的力学性能随温度的演变规律，测试了不同温度下薄膜的摩擦系数和磨损机制，揭示了薄膜的组织结构和力学性能对高温磨损失效机制的影响规律。,作为一种过渡金属氮化物薄膜，CrAlN薄膜具有高硬度、良好的耐磨性和抗氧化性，因此被人们广泛的应用于工业生产中，能够有效提高切削工具、模具和耐磨零部件等的表面硬度、复合韧性、抗高温性及耐磨性，从而大幅度地提高了薄膜产品的性能和使用寿命。CrAlN薄膜因具有优异的抗磨粒磨损性能和抗高温氧化性，已成为PVD三元氮化物薄膜中的典型代表。 项目负责人在北京市自然科学基金青年项目（3164049）的资助下，系统研究了磁控溅射和多弧离子镀制备的CrAlN薄膜的组织结构、力学性能随温度的变化规律，及其对高温摩擦学行为和磨损机制的影响机制。本项目对磁控溅射CrAlN薄膜的参数对其微观组织结构的影响机制进行了深刻揭示，得到性能优异的CrAlN薄膜。通过对比不同温度下（20℃、400℃、600℃和800℃）薄膜的形貌特征、化学成分和相结构的变化规律。揭示了温度对薄膜化学成分和组织结构的影响机制。基于纳米压痕技术，分析薄膜的力学性能随温度的演变规律，测试了不同温度下薄膜的摩擦系数和磨损机制，揭示了薄膜的组织结构和力学性能对高温磨损失效机制的影响规律。 2100433B