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清华大学光电工程研究所的前身为清华大学光学仪器教研室,成立于1958 年。1981年光电所被确定为首批博士点。1988年被评为光学工程重点学科,设立博士后流动工作站,是精密测试技术及仪器国家重点实验室清华实验区中心实验室。在2001年教育部重点学科评估和2003年全国一级学科排序评估中均获得了光学工程学科第一名,本所承担着国家“973”、“863”和国家自然基金研究项目等约18项,2001年至2005年期间发表SCI论文150篇,2篇博士学位论文获全国百篇优秀博士论文奖。