渗氮感应表面淬火是在工件渗氮后进行感应表面淬火的热处理工艺。这一复合热处理工艺可得到比单项热处理后更高的表面硬度、更大的硬化层深度，具有抗蚀、抗疲劳、抗中温软化的综合性能。
例如。φ25.4mm的钢试件调质处理后分别进行如下处理：渗氮，渗氮工艺为530℃、9h，氨分解率25%~35% 530℃、Sh,氨分解率65%~75% 530℃、46h，氨分解率25%~35%；感应表面淬火，工艺为300kHz、15kw,850~920℃加热2.3~2.7s,水淬；渗氮感应表面淬火复合处理。
经不同规程处理后，试件的硬化层深度及表面硬度如图1所示。
