标准计划
2018年12月29日，国家标准计划《电子工业用四氯化硅》（20184310-T-469）下达，项目周期12个月，由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）提出并归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会化学品分会）执行，主管部门为中华人民共和国国家标准化管理委员会。
标准起草
起草小组联合湖北省标准化与质量研究院、西南化工研究设计院有限公司、随州市信息与标准化所等科研单位和企业，对国际、中国国内产品生产情况进行了深入调研和分析，将中国以外产品的企业标准和中国国内实际生产情况相结合编制标准草拟稿，先后于昆明、上海、武汉多次召开标准讨论会，广泛征求意见并反复开展验证试验，最终通过全国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会的标准审查。
发布实施
2020年7月21日，国家标准《电子工业用四氯化硅》（GB/T 38867-2020）由中华人民共和国国家市场监督管理总局、中华人民共和国国家标准化管理委员会发布。
2021年2月1日，国家标准《电子工业用四氯化硅》（GB/T 38867-2020）实施。
国家标准《电子工业用四氯化硅》（GB/T 38867-2020）依据中国国家标准《标准化工作导则—第1部分：标准的结构和编写规则》（GB/T 1.1-2009）规则起草。
主要起草单位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。
主要起草人：徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭、王春英、戴帅、张竞、黄国菲、廖恒易、陈艳珊、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、徐龙、赵帅德、唐霞梅。
