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《电子工业用四氯化硅》(GB/T 38867-2020)规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。该标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。