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与其他种表面淬火方法比,一个重要特征是可获得超细晶粒组织。硬化凝固处理时,电子束在零件表面扫描使其表层快速熔化,然后再靠自身热传导快速凝固,从而达到使表层晶粒细化、硬度和韧性综合性能提高、合金元素重新分配和表面粗糙度改善等目的.表面合金化时,把具有特殊性能的合金粉末涂敷在工件表面,用电子束扫描使表面形成一层很薄的新的合金,从而提高表面的耐磨、耐蚀、耐热性能。这种方法的突出优点是能用较便宜的材料获得较好性能的零件。