工作室通常是用不锈钢制成的真空容器,外周必要时用水套或水管冷却,内部有工作台或柑涡、物料支承、输送机构等;外壳壁上有连接电子枪、真空机组、测温装置等的连接管。真空系统由机械泵、增压泵和扩散泵等组成。轴向枪通常另配一套真空机组,枪室真空度在103Pa以上。高压电源电子枪在直流高压下工作,如熔炼炉的工作电压为10~35kV,焊接设备的为30~200kV。电源用三相桥式整流器。整流元件用闸流管或高压硅堆。硅堆有体积小、效率高、起动快等优点,随着电路保护技术的进步,其应用已越来越多。电压调节通常用饱和电抗器或磁性调压器。高压电源配有过电压、过电流和各种连锁保护装置,以确保人身和设备的安全。应用电子束加热主要用于金属的熔炼、焊接、表面处理以及金属和非金属的刻蚀、钻孔、切割、电子束燕发被膜、电子束排烟排气处理等。 2100433B