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电子束曝光机技术指标

2022/07/1696 作者：佚名
导读：型号：日本电子JBX6300FS 加速电压：100KV 扫描频率：12MHZ 可加工最大样品：4英寸 对外服务加工精度：关键尺寸50nm以上。

型号：日本电子JBX6300FS 加速电压：100KV 扫描频率：12MHZ 可加工最大样品：4英寸 对外服务加工精度：关键尺寸50nm以上。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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