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电子级三氯氢硅electronic grade trici}lorcx}ilane SiHC13无 色可燃,腐蚀性液体,有令人窒息的臭味。在湿空气中迅速水解 生成氯化氢:沸点31.9':.熔点一126.5 C:。液体密度134UkgI 耐:在空气「},的可燃限b.9%一7U }'u。闪点一28 . U}.。TI}V按 HCl)5x 1U一“。