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电子级三氯氢硅制作方法

2022/07/16177 作者：佚名
导读：其制法是以工业级二氯氢硅为原料，精馏提纯。 二氯氢硅在半导体芯片和}C他元件的制造中用作化学气相淀积 的硅源- 2100433B

其制法是以工业级二氯氢硅为原料，精馏提纯。 二氯氢硅在半导体芯片和}C他元件的制造中用作化学气相淀积 的硅源- 2100433B

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