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电感耦合等离子体刻蚀机技术指标

2022/07/16138 作者：佚名
导读：Model type: Plasmalab 100-ICP180; Frequency: 50Hz； Rated Voltage：415 VAC 3 Max Rated Input Current：42Amps interrupt Current: 6KA。

Model type: Plasmalab 100-ICP180; Frequency: 50Hz； Rated Voltage：415 VAC 3 Max Rated Input Current：42Amps interrupt Current: 6KA。

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