真空渗氮工艺指向真空炉中通入氨气，可对工件进行真空渗氮，其方式类似于脉冲式真空渗碳，即工件装人真空炉后开始抽气，当真空度达到设定值后，炉子通电升温，同时抽真空，以保持炉子的真空度。炉温达到渗氮温度时，保温一段时间，其作用是净化工件表面和透烧。其后停止抽真空并向炉内通人渗氮气体，使炉压升高至一定值，保持一段时间，之后再抽真空并保持段时间，再通入渗氮气体; 如此，反复进行多次，直到渗氮层深达到要求为止。在此全过程中炉温保持不变。

例如，使用如图1所示装置，对38CrMoAI、3Cr2W8V 钢制试件进行了真空渗氮。试件装炉后首先将炉子抽真空至1.33Pa,升温至530℃或550℃渗氮温度，保温30min,以净化试件表面和透烧。之后关闭真空泵并向炉子内通人氨气，压力达0.4~0.6MPa,保持段时间，再抽真空至1.33Pa；此后交替进行“通氨-抽真空”，直至渗氮层深度达到要求，再炉冷至300℃出炉。

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