真空溅射镀膜设备简介
2022/07/16111
作者：佚名
导读：目录 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 型号与基本参数 4 技术要求 4．1 设备正常工作条件 4．2 结构要求 4．3 制造质量 4．4 安全防护要求 5 试验方法 5．1 极限压力的测定 5．2 抽气时间的测定 5．3 升压率的测定 5．4 溅射电流的变化率的测定 5．5 测量用仪表设备 6 检验规则 7 标志、包装、运输和贮存 7．1 标志 7．2 包装 7．3 运输 7．4 贮存 表
目录
前言
1 范围
2 规范性引用文件
3 型号与基本参数
4 技术要求
4．1 设备正常工作条件
4．2 结构要求
4．3 制造质量
4．4 安全防护要求
5 试验方法
5．1 极限压力的测定
5．2 抽气时间的测定
5．3 升压率的测定
5．4 溅射电流的变化率的测定
5．5 测量用仪表设备
6 检验规则
7 标志、包装、运输和贮存
7．1 标志
7．2 包装
7．3 运输
7．4 贮存
表1 基本参数2100433B
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