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真空电弧离子注入机技术指标

2022/07/16108 作者：佚名
导读：极限真空优于5*10^-4Pa;真空室尺寸:Φ600mm球形;抽速:26分钟达到1×10-3Pa;钛靶和碳靶各2个，均为Ф100mm;弧电源电流60～150A连续可调;脉冲负偏压0～1000V可调，占空比10%--90%可调;离子源平均引出电流/电压:10.7mA/76KV;束斑直径Ф150mm。

极限真空优于5*10^-4Pa;真空室尺寸:Φ600mm球形;抽速:26分钟达到1×10-3Pa;钛靶和碳靶各2个，均为Ф100mm;弧电源电流60～150A连续可调;脉冲负偏压0～1000V可调，占空比10%--90%可调;离子源平均引出电流/电压:10.7mA/76KV;束斑直径Ф150mm。

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