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电子光学:高分辨率肖特基场发射电子枪,加速电压:200v-30kv;检测器:高灵敏度、低电压固体背散射探头,二次电子探头;能谱仪:双规漂移探头;分辨率:30kv下2.5nm(背散射探头)、30kv下1.0nm(二次电子探头)、1kv下3.0nm(二次电子探头)。