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硅气压测量传感器固态压阻式传感器

2022/07/16246 作者：佚名
导读：固态压阻式传感器是利用压阻效应制成的硅单晶膜片式结构的压强传感器。其核心敏感元件是在周边固定的硅单晶膜片上，采用集成工艺，在适当位置扩散4个半导体应变电阻，并将它们接成电桥。膜片两侧分别为密封真空腔和通入气的气压腔。当膜片两侧存在气压差时，膜片变形，应变电阻在应力作用下阻值变化，电桥失去平衡，输出相应的电压。 2100433B

固态压阻式传感器是利用压阻效应制成的硅单晶膜片式结构的压强传感器。其核心敏感元件是在周边固定的硅单晶膜片上，采用集成工艺，在适当位置扩散4个半导体应变电阻，并将它们接成电桥。膜片两侧分别为密封真空腔和通入气的气压腔。当膜片两侧存在气压差时，膜片变形，应变电阻在应力作用下阻值变化，电桥失去平衡，输出相应的电压。 2100433B

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