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碳氢溶剂用于工业清洗的最大障碍是沸点高、闪点低,沸点高不仅干燥速度慢,而且在加热干燥和蒸馏再生时温度必定会高于闪点,从而带来火险隐患。真空清洗干燥机是在真空状态下进行清洗、干燥和蒸馏再生,使碳氢溶剂的沸点降低到80℃以下,干燥速度和蒸馏再生的速度大大加快。同时在真空状态下氧气稀薄,使碳氢溶剂不能燃烧。真空清洗干燥机还运用了许多先进技术,使其具有其他清洗方法不可企及的优势 。