| 申请日 |
2019.09.05 |
| 申请人 |
昭和电工株式会社 |
| 地址 |
日本东京都 |
| 发明人 |
远藤大三; 筱龙德; 大桥荣久 |
| Int. Cl. |
G01R33/02(2006.01)I; H01L43/00(2006.01)I |
| 专利代理机构 |
北京市金杜律师事务所11256 |
| 代理人 |
杨宏军; 唐峥 |
| 优先权 |
2018-223623 2018.11.29 JP |
| PCT进入国家阶段日 |
2021.04.28 |
| PCT申请数据 |
PCT/JP2019/035034 2019.09.05 |
| PCT公布数据 |
WO2020/110407 JA 2020.06.04 |
