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磁控溅射硅靶材及绑定靶材主要技术

2022/07/16232 作者：佚名
导读：本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。 本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材。2100433B

本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。

本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材。2100433B

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