为提高氮化硅陶瓷球的加工精度和综合性能,采取了三条研究路线:特种研磨工艺,表面沉积致密超硬涂层后抛光处理,以及真空除气高压注入纳米材料。研究表明:两种表面改性技术可略微提高陶瓷球的极限破碎载荷20-30%,对表面加工损伤及微型气隙有弥补作用;可明显缩小动静摩擦系数差异,有利于减小陶瓷轴承的起动摩擦力矩;可延长磨损寿命1.5-1.8倍,其中,真空除气高压注入改性后可降低摩擦系数,有利于提高高速陶瓷轴承瞬时润滑不足时的工作可靠性。97年在国家科委资助下,本项研究及陶瓷轴承相关技术研究成果正在进行小批量中期试制,目前已能提供小批量超精密轴承用氮化硅球,即G5级陶瓷球。