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精密点检的定位有两种形式。
(1)除日常点检和专业点检外的设备检查活动都可作为精密点检范畴，如SIS点检、技术监督和监控、二十五项反措对标检查、重大危险源识别的数据，都可看成精密点检。也就是说，除日常点检和专业点检获得的设备状态数据外，其他数据都作为精密点检数据来定位和对待。
(2)一般理解的第三层防护就是用更加精密的仪器去检测设备状态，如通过振动分析仪、油液分析仪、红外热像仪、泄漏检测仪等完成设备的状态检测。进行设备的状态管理。
