1X射线激发系统垂直上照式X射线光学系统空冷式微聚焦型X射线管，Be窗标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－标准75W(4-50kV，0-1.5mA)－任选X射线管功率可编程控制装备有安全防射线光闸

2滤光片程控交换系统根据靶材，标准装备有相应的一次X射线滤光片系统二次X射线滤光片：3个位置程控交换，Co、Ni、Fe、V等多种材质、多种厚度的二次滤光片任选位置传感器保护装置，防止样品碰创探测器窗口

3准直器程控交换系统最多可同时装配6种规格的准直器，程序交换控制多种规格尺寸准直器任选：－圆形，如4、6、8、12、20mil等－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等

4测量斑点尺寸在12.7mm聚焦距离时，最小测量斑点尺寸为：0.078x0.055mm(使用0.025x0.05mm准直器)在12.7mm聚焦距离时，最大测量斑点尺寸为：0.38x0.42mm(使用0.3mm准直器)

5X射线探测系统封气正比计数器装备有峰漂移自动校正功能的高速信号处理电路

6样品室CMI900CMI950－样品室结构开槽式样品室开闭式样品室－最大样品台尺寸610mmx610mm300mmx300mm－XY轴程控移动范围标准：152.4x177.8mm任选：50.8mmx152.4mm50.4mmx177.8mm101.6x177.8mm177.8x177.8mm610mmx610mm300mmx300mm－Z轴程控移动高度43.18mmXYZ程控时，152.4mmXY轴手动时，269.2mm－XYZ三轴控制方式多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制