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角分辨X射线光电子能谱仪技术指标

2022/07/16192 作者：佚名
导读：单色化Al靶、双阳极Al/Mg靶、功率大于等于500W； 超高真空系统，样品分析室真空优于5*10^-10 Torr； 能量分辨优于0.5eV/(Ag 3d5/2), 0.8 eV/(C 1s); 对样品进行表面元素和价态分布进行成像分析； 具有先进的荷电中和技术； 可使用离子刻蚀和角分辨功能； 样品分析测试具有较高的自动化程度。

单色化Al靶、双阳极Al/Mg靶、功率大于等于500W； 超高真空系统，样品分析室真空优于5*10^-10 Torr； 能量分辨优于0.5eV/(Ag 3d5/2), 0.8 eV/(C 1s); 对样品进行表面元素和价态分布进行成像分析； 具有先进的荷电中和技术； 可使用离子刻蚀和角分辨功能； 样品分析测试具有较高的自动化程度。

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