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单色化Al靶、双阳极Al/Mg靶、功率大于等于500W; 超高真空系统,样品分析室真空优于5*10^-10 Torr; 能量分辨优于0.5eV/(Ag 3d5/2), 0.8 eV/(C 1s); 对样品进行表面元素和价态分布进行成像分析; 具有先进的荷电中和技术; 可使用离子刻蚀和角分辨功能; 样品分析测试具有较高的自动化程度。