硅片表面小至零点几微米的超微污物粒子，常规的超声波清洗器无法清洗，即使增加功率密度也无济于事。一种兆赫兹级的高频超声清洗技术，由于频率高，空化效应已不起作用，因此清洗的关键不是气泡，是高频压力波的擦洗作用，对污物的去除率接近百分之百。
对于像纺织行业的喷丝板、过滤器之类微孔物件的清洗，常规的超声清洗效果十分不理想，声强达不到要求，而采用机械扫描聚焦式超声清洗，喷丝板微孔中的污物脱离则十分明显。聚焦式清洗要求达到高的声强。
在一只清洗槽中，安装有两种或三种以上不同频率的换能器，由多只发生器分别推动各自频率的换能器。清洗器工作频率高时，在液体中空化强度低而空化密度大，而工作频率低时则相反。低频超声波的强度高，对物体表面清洗有利，高频超声波空化密度高，冲击波能穿达凹槽、细缝、深孔等细微结构。同时缸中有多种频率的超声波，也克服了单频清洗驻波场造成的清洗不均匀问题。
扫频和跳频清洗都是为了改善超声波清洗槽中的声场结构。扫频解决了槽中的不均匀驻波场，使清洗均匀。跳频和多频兼顾到高低频清洗，不同的是跳频用的是一个超声波换能器和一个超声波发生器，其超声波换能器本身有两个谐振频率，在第一谐振点带宽内作连续的频率变化，然后跳到另一带宽内进行扫频清洗，是高低频交替进行清洗。2100433B
