微型固态振动陀螺结构简单，抗冲击能力强，适合MEMS技术制作，是一种极具发展潜力的新型陀螺仪。相比带支悬梁的微机械振动陀螺，本项目创造性地将超磁致伸缩材料整体作为振子，基于MEMS技术制成无支悬梁的固体微陀螺，主要特点如下：（1）超磁致伸缩体伸缩振幅大，可极大提高微陀螺检测的灵敏度；（2）结构简单，无支撑梁，抗冲击抗震动能力强;（3）易于微加工批量制造，对真空封装无特殊要求；（4）驱动电压低，起振时间极短，因而陀螺启动时间短。（5）将巨磁阻（GMR）敏感元件集成于陀螺本体上，提高了检测分辨率，且体积小；（6）可同时测量二轴角速率。本项目主要对超磁致伸缩固体微陀螺的工作机理、机电磁系统仿真、结构优化设计、基于非硅MEMS技术的制造工艺以及测控方法进行深入研究，为实现较高测量灵敏度的、多轴微固体陀螺装置奠定理论与实验基础。本项目属机械、材料、测控、电子等交叉学科课题，学术价值高，应用前景广泛。
