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三轴高精度运动控制平台,可验证超精密联动运动控制的能力及超精密机床误差补偿的技术,该平台是由配置高速直连电主轴和伺服系统,X、Y、Z由U型直线电机及高精度滚动导轨等部件组成的对称结构,X、Y、Z三轴均配置高精度绝对式光栅尺,构成高精度全闭环控制,Z轴直线电机具有断电或掉使能时的自锁能力,平台采用矿物铸件基座,Y、Z轴采用横梁式,确保机床自身的抖动得到很好的抑制。 2100433B