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其可大致分成两类:①超精度切削加工,如超精密车削、镜面磨削、研磨等。②超精密特种加工,主要有机械化学抛光、电子束曝射、激光束加工、离子溅射和离子注入、金属蒸镀及分子束外延等。已广泛应用于精密仪器制造、电子、航空、航天等工业中。这些技术与其他高新技术相互推动,共同发展,尤其它们的综合开发,越来越受到人们的重视。 2100433B