（1）超精密定位运动控制系统是一个多交叉学科的研究领域，主要包括机械、光学、电气、控制和测量等领域，而大多数学者都将研究重点放在超精密定位平台、支撑结构和运动控制策略上。
（2）根据光刻机系统中音圈电机工况特点和功率放大器指标来看，无论采用线性功率放大器还是开关功率放大器，都难于使音圈电机功率放大器同时达到高功率、高精度和高带宽的指标要求。
（3）音圈电机数学建模方面集中在由支撑结构引起扰动建模，包括摩擦力和推力波动建模，其扰动频率较低，采用前馈查表和建立复杂数学模型等方法补偿扰动来提高定位精度。当音圈电机在高频下运动时，其表现出的各种非线性特性相对比较复杂，难于建立精确数学模型。
（4）在超精密定位运动控制系统中，通常以提高信号跟踪能力、克服内外干扰、抑制系统振动和缩短定位稳定时间为控制目标，很难找到一种全面的控制策略，通常是几种控制算法相互配合，互补不足来最终实现 。
