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超精密定位音圈电机驱动控制系统音圈电机工作原理

2022/07/16258 作者:佚名
导读:音圈电机是一种特殊形式的直流直线电机,其具有高频响、高加速度、体积小和控制方便等优点,由于这些优点,音圈电机能够解决精度与速度和大行程之间矛盾问题。近年来,随着超精密定位系统性能指标的提高,导致音圈电机技术迅速发展,不仅在半导体制造装备、高档数控机床和光学电子显微镜等超精密定位系统中得到广泛应用,还在医疗、振动平台和主动减振系统等高激励运动系统中运用 。 音圈电机(voice coil motor

音圈电机结构

音圈电机是一种特殊形式的直流直线电机,其具有高频响、高加速度、体积小和控制方便等优点,由于这些优点,音圈电机能够解决精度与速度和大行程之间矛盾问题。近年来,随着超精密定位系统性能指标的提高,导致音圈电机技术迅速发展,不仅在半导体制造装备、高档数控机床和光学电子显微镜等超精密定位系统中得到广泛应用,还在医疗、振动平台和主动减振系统等高激励运动系统中运用 。

音圈电机分类 音圈电机(voice coil motor,VCM)是一种基于安培力原理设计的直线电机,主要由永磁体、线圈和轭板 3 部分组成。其原理为当通电线圈在气隙磁场中运动时,根据洛伦兹力原理,则会产生推力驱动线圈在气隙内沿轴向运动,随着线圈中电流方向和数值的变化,线圈做往返直线运动。除了和其他直线电机一样可消除传动环节中存在间隙等不足外,在理论上音圈电机具有高响应、高加速度、结构简单和力特性好等优点,广泛应用于高频激励、高响应和高精度定位运动控制系统中。

音圈电机 根据音圈电机永磁体所处的位置不同,分为内永磁体式和外永磁体式;根据音圈气隙长度,分为长线圈和短线圈结构;根据动子结构,分为动线圈式和动永磁体式,各个种类音圈电机优缺点对比如表所示。

通过对表中各个性能比较可以得出,为了满足音圈电机高加速度、快速响应和高频响的运动特性,在运动部件质量一定的条件下,应该选择内永磁体式、动永磁体式和短线圈式结构的音圈电机,此种类型的音圈电机具有功耗小、工作电流大和推力大等优点。

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