| 序号 |
类别性能指标名称 |
全自动真空烤箱性能指标 |
| 1 |
物联网技术 |
全程智能识别、跟踪、检测、网络控制管理 |
| 2 |
工作舱测控 |
水分2PPM，真空度1-100pa |
| 3 |
温度均匀性 |
±2.5℃ |
| 4 |
抽气速度 |
到达真空度5Kpa<6min |
| 5 |
控制系统 |
触摸屏 PLC(专用软件自动控制) |
| 6 |
报警 |
真空度报警、超温度报警 |
| 7 |
远程监控 |
远程监控、双模式 |
| 8 |
数据自动记录 |
远程监控、双模式 |
| 9 |
真空门 |
多个真空门 |
| 10 |
输送/环境 |
机械手自动输送，真空环境 |
