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建设工程知识

镀膜材料蒸发镀膜

2022/07/16135 作者：佚名
导读：镀膜材料厚度影响因素 1。基片材料与靶材的晶格匹配程度 2、基片表面温度 3. 蒸发功率，速率 4. 真空度 5. 镀膜时间，厚度大小。 镀膜材料组分均匀性 蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。 镀膜材料晶向均匀性 1。晶格匹配度 2。 基片温度 3。蒸发速率

镀膜材料厚度影响因素

1。基片材料与靶材的晶格匹配程度

2、基片表面温度

3. 蒸发功率，速率

4. 真空度

5. 镀膜时间，厚度大小。

镀膜材料组分均匀性

蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。

镀膜材料晶向均匀性

1。晶格匹配度

2。 基片温度

3。蒸发速率

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