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高压液封直拉法工艺特点

2022/07/16147 作者:佚名
导读:目前用于制备磷化镓的高压单晶炉可充100-200大气压的惰性气体。这种工艺的拉晶技术大体上和液封直拉法相同,只是因为炉内惰性气体压力很大,因此引起强烈的对流,从而给单晶生长带来更多的困难。但它目前仍然是从熔体中生长大直径磷化物单晶的最好方法之一。

目前用于制备磷化镓的高压单晶炉可充100-200大气压的惰性气体。这种工艺的拉晶技术大体上和液封直拉法相同,只是因为炉内惰性气体压力很大,因此引起强烈的对流,从而给单晶生长带来更多的困难。但它目前仍然是从熔体中生长大直径磷化物单晶的最好方法之一。

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