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高密度等离子刻蚀机技术指标

2022/07/16172 作者：佚名
导读：1、可加工片子尺寸：Ф150mm以内。 2、均匀性：±5% (4英寸硅片内)。

1、可加工片子尺寸：Ф150mm以内。 2、均匀性：±5% (4英寸硅片内)。

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