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8英寸化学气相石墨烯沉积生长系统主要功能

2022/07/1684 作者:佚名
导读:1. 8英寸石墨烯薄膜的化学气相沉积制备; 2. 二维材料的等离子体辅助化学气相沉积; 3. 固态源法制备石墨烯、氮化硼等二维晶体与异质结构。 2100433B

1. 8英寸石墨烯薄膜的化学气相沉积制备; 2. 二维材料的等离子体辅助化学气相沉积; 3. 固态源法制备石墨烯、氮化硼等二维晶体与异质结构。 2100433B

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