| 电阻率（25°C 时为 MΩ·cm） |
18.2 Ultrapure Water 18.2 |
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| TOC，ppb–使用 Quantum IX |
< 30 |
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| TOC，ppb–使用 Quantum EX |
<10 |
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| 颗粒物 |
0.22µm 除菌过滤器 |
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| 尺寸（接有 10L 储水桶） |
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| 高，cm (in.) |
45.7 (18) |
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| 宽，cm (in.) |
25.5 (10) |
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| 厚，cm (in.) |
50 (20) |
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| 操作重量（水箱装满），kg (lb) |
29.5 (65.0) |
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| I 级水流速 (L/min) |
高达 0.6 |
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| III 级水流速（L/h） |
高达 5 |
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