HEPA & ULPA过滤器的构造。Fig 6. 分离式过滤器Fig 7. 一体式过滤器Fig 5. 包装物粘合成过滤网外框----外框与气密垫片组装成最终过滤箱体，Pack is glued into a frame - Frame is gasketed to formfinalassembly，HEPA/ULPA 过滤器是专门为去除多种空气中的污染成分而设计的，可以去除的。成分包括：标准粉尘卷烟烟气细菌（细菌大小：500到0.3微米）煤灰花粉放射性微粒杂质离子-〉会影响到集成电路的速度。
HEPA & ULPA 过滤器
HEPA: 高效空气净化器的缩写（High Efficiency Particulate air Filter；
HEPA: 对直径为0.3微米微粒99.97%的过滤效率；
ULPA: 超低空气泄漏；
ULPA: 对直径为0.12微米微粒99.999%的过滤效率；
