热门搜词
建筑大数据
工程监管
大数据+
数据价值
建设领域
云计算
地下综合管廊
BIM技术
一带一路
建设工程
建筑业
建筑施工
建筑工程
海绵城市
装配式建筑
主要功能：等离子刻蚀是利用高频辉光放电效应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀部位，与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。其优势在于快速的刻蚀速率同时可获得良好的物理形貌。
