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KyKy多功能真空离子镀膜机技术指标

2022/07/16228 作者：佚名
导读：钟罩尺寸：内径Φ250mm×高度340mm 玻璃处理室：内径Φ88mm×高度140mm 内径：Φ88mm×高度57mm 试样台尺寸：Φ40mm（最大） 金靶尺寸：Φ38mm 真空度：优于2×10-3Pa 试样运动方式：平面转动、倾斜旋转、倾斜进动 真空系统：分子泵、机械泵组成的高真空机组 真空检测：热偶计、冷规。

钟罩尺寸：内径Φ250mm×高度340mm 玻璃处理室：内径Φ88mm×高度140mm 内径：Φ88mm×高度57mm 试样台尺寸：Φ40mm（最大） 金靶尺寸：Φ38mm 真空度：优于2×10-3Pa 试样运动方式：平面转动、倾斜旋转、倾斜进动 真空系统：分子泵、机械泵组成的高真空机组 真空检测：热偶计、冷规。

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