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MCVD工艺中的基本设备是玻璃车床、供料系统和废气处理装置,如图《MCVD装备》所示。
玻璃车床并不是特殊车床,但是为了防止沉积和熔缩成棒过程中石英玻璃管变形,两个卡盘应该同心,以确保中心偏差小于0.05mm。车床上装有一个载着氢氧喷灯恒速运动的拖板,若能安装一个辐射高温计和外径控制仪则更好,它们随喷灯一起运动,可分别用来测量热区温度和石英玻璃管的外径。以来自辐射温度计的信号控制氢气和氧气的流速,从而能够达到保持加热区的温度恒定的目的。