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石英玻璃的废气中含有细小的玻璃粒子和氯气，所以在排入大气之前必须除去这些有害物质。
净化系统由粉末收集器、水喷淋器和流量控制阀所组成。首先由粉末收集器清除废气中的细冷玻璃粒子，然后用含有NaoH的碱溶液喷淋以中和废气中的Cl2和HCI。这样，废气就得到了净化。废气的流量是由一个随来控制的，因此由传藤器测量的反应管压力能保持恒定。 2100433B
